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微孔陶瓷真空吸盘

2020年4月29日 下午9:30

陶瓷真空吸盘微孔陶瓷真空吸盘
技术背景
旧型的真空固定板都是利用铝板和不锈钢板上的槽或孔来吸附加工物的。但是这种方法会导致被加工物凹下到槽孔里,失去吸附精度。在这种情况下,我们开发了新型多孔陶瓷,它的孔径可以制作在小于1微米大到几百个微米的范围内。通过微小的气孔把空气吸出,便加工物紧贴在陶瓷面上。真正实现了真空固定。

工作原理
陶瓷烧结技术,使多孔陶瓷内部不产生任何尘嚣,保持良好环境。陶瓷内气孔率,气孔径可根据用途固定。可以生产大型真空固定盘。在一个盘上,可以固定多种形状的被加工物。因为盘面气孔的分布状态可选择围棋盘或同心圆状。抽真空的接口也可以分别独立设置。在加工时,只要根据被加工物的形状和尺寸,来选择相应的真空接口就行。不管被加工物形状如何,都可以吸附。(请注意,被加工物要比吸附部分尺寸大才行,不然就吸不住)吸附面材料为多孔陶瓷,实现了高精度自动切割。无论被吸附物是磁性还是非磁性,都可以稳定吸住。吸附面吸力均一,可以用来固定很薄的加工物,像薄膜一类。用真空阀可以调节吸附力的大小。
固定盘连接在旋转器上,被固定物可以随着固定盘一起旋转。在湿度大,有粘合液体的环境下也可以工作。

使用环境(条件)
高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附, 同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用仅限用于平坦,无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。 在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。

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